簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Wei-Chun Cheng".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="薄膜"


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    金(鈹)/砷化鋁鎵(100)晶片的薄膜結構研究
    • 機械工程系 /94/ 碩士
    • 研究生： 劉冠良   指導教授： 鄭偉鈞
    • 本實驗以適用於發光二極體的三元砷化鋁鎵(100)晶片系統，以熱蒸鍍法沉積金鈹合金於砷化鋁鎵晶片上，並使用快速升降溫爐及傳統管狀爐作熱處理，本論文以研究此晶片系統之金屬層的組成相為方向。 X光…
    • 點閱：207  下載：7 

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    鉭膜之機械性質研究-楊氏係數、硬度與薄膜應力
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 江秉鴻   指導教授： 鄭偉鈞 、 任盛源
    • 本研究是利用磁濺鍍方式將單層鉭(Tantalum)薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢，隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑，進而計算薄膜應力值；奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏…
    • 點閱：259  下載：8 
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